意法半导体MEMS日产能将超过300万颗

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    全球微机电系统(MEMS)组件供货商意法半导体(STMicroelectronics;STM)扩大MEMS生产线产能,至2011年底预计传感器日产能将超过300万颗,以满足客户对高性能、低价格传感器的爆炸性成长需求。
    意法半导体部门副总裁暨MEMS、传感器和高性能模拟产品部总经理BenedettoVigna表示,MEMS不断扩大生产线产能,推动MEMS进入高速成长的市场,如医疗保健、工业和汽车。意法半导体抢占微机械传感器普及化的先机。
    意法半导体于2006年成为全球首家以8吋晶圆生产MEMS传感器的厂商,大幅降低产品的单位成本。意法半导体MEMS产品的主要制造基地在意大利米兰近郊的Agrate和卡塔尼亚(Catania)传感器制造厂区、法国Rousset和Crolles的逻辑裸片制造厂区以及马耳他Kirkop和菲律宾卡兰巴(Calamba)的封装测试厂区。
    意法半导体MEMS传感器制造技术受益于其研发的业界领先制程。THELMA(ThickEpi-PolyLayerforMicroactuatorsandAccelerometers;用于致动器及加速度计的厚外延层)表面微机械加工制程被用于制造加速度计和陀螺仪,此制程技术混合使用薄厚度不一的多硅层制造传感器架构和连接件,能够在同1颗芯片上整合线性和角动作机械组件,让客户能够大幅降低产品的成本和尺寸。互补性VENSENS(VeniceSensor)制程可在单晶硅片内整合气腔,制造拥有绝佳尺寸和出色性能的微型压力传感器。
    大吞吐量的处理能力,已成为MEMS厂商保持高成长市场需求的艰巨挑战之一,同时也是取得市场成功的关键。意法半导体的MEMS封装测试平台能并行处理大量的传感器芯片,并可为每个芯片提供恒量且可重复的测试刺激讯号,进而大幅提高生产线的整体产能。意法半导体加速度传感器并被计算机制造商广泛用于自由坠落检测,以保护笔记本电脑的硬盘驱动器;汽车设备制造商则将意法半导体的MEMS传感器用于安全气囊和导航系统。

 

 

 

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